zp19861023 发表于 2009-9-4 09:59:28

三氯氢硅合成炉升温

合成炉采用夹套水冷却方式，通过电加热器对氮气加热（最高可加热到500摄氏度），然后用热氮气来对合成炉升温。
       小弟有很多疑惑：1 对合成炉升温的速度是不是应该控制，如果要控制，每小时升温多少度合适呢？又如何来控制这个升温速度呢？对一台设备来说，温度升到400度，要大于几个小时才合适？
                               2 升温前要向合成炉加入一定量的硅粉，是不是一开始升温的时候这个合成炉里面的硅粉就必须流化起来？如果必须要流化起来的话，那这个氮气的用量也太大了吧。如果不流化起来，不知道这个合成炉的温度能否各处升温均匀？
                               3 刚进入多晶硅行业，没有经验。不知道会不会出现温度升不到我所需要的300多摄氏度？如果要是真升不上去，那又该怎么办呢？
   望有这方面经验的坛友各抒己见

荆-棘-鸟 发表于 2009-9-16 22:33:08

经验来源于实践，你这个情况好像是阳光的吧？

cxy721225 发表于 2009-9-17 09:00:55

这个确实要经验了，氮气加热能不能达到400度我也没遇见，还向请教各位朋友了。
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