wangkun1008
发表于 2009-9-15 18:54:02
请教：硅棒发黑跟什么有关系
出炉发现硅棒表面发黑，请教高手这跟什么有关系？
9769782
发表于 2009-9-15 20:39:20
停炉时间久了，生成了无定形硅
huanglanxiang
发表于 2009-9-15 21:28:46
2# 9769782 温度低了
Aaron80
发表于 2009-9-15 22:09:24
硅棒发黑，应该是温度没有提到位，偏低了
wangkun1008
发表于 2009-9-16 18:20:26
温度低了？硅棒表面也不是全部发黑啊
zhangrang
发表于 2009-9-17 14:03:15
可能是系统含碳量偏高的缘故
piaowu0335
发表于 2009-9-21 10:18:59
1# wangkun1008
我这出现的不仅是外表发黑，而且内部也出现的发黑的迹象。
urga0952
发表于 2009-9-21 16:00:40
氢气中含氮量是否超标？
lwb1987
发表于 2009-9-22 22:28:43
反之温度低结晶细小，表面呈暗灰色。当温度低于900℃以下，会生成疏松的暗褐色无定形硅。
lvyj1978
发表于 2009-9-23 08:57:33
1、降温时没有停料
2、温度过高会发生逆腐蚀
3、停炉时过早通入氮气
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