wtuvfhpl 发表于 2009-8-17 20:01:49

请教还原炉尾气？

还原炉尾气中主要组份物质有哪几种？各占多少？
发生了哪几种反应生成？

tao8686886008 发表于 2009-8-17 20:22:47

三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅、氯化氢、氢气、氯硅烷聚合物。

rishionli 发表于 2009-8-20 15:18:11

还原炉的反应大大小小有8中，但主反应只有2中。

eaglet1984 发表于 2009-8-20 16:12:40

还原炉的反应大大小小有8中，但主反应只有2中。
rishionli 发表于 2009-8-20 15:18

                              
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能具体说下哪8种吗？

Minos 发表于 2009-8-20 15:18:00

最重要的一步是SiHCl3——HCl+SiCl2，温度升高之后，尤其在硅棒表面，也有SiHCl3——SiCl3+H
至于其它的，可以自己进行推导了

jacky_key 发表于 2009-8-20 20:03:02

楼上的说的基本上就是这些了，不过还是有些低沸物和高沸物目前成分还不是特别明确，还原炉内反应比较复杂。

Minos 发表于 2009-8-20 22:24:24

如果不考虑其它杂质，那低沸物主要就是二氯二氢硅，二氯二氢硅的形成机理也很简单，还是通过SiCl2中间体形成的，至于在还原炉这种条件下是否存在SiH3Cl这样的东西，似乎没有在文献中见到过
高沸物则主要为硅油，硅油的形成机理复杂一些，但还是这一系列自由基相互作用产生的...

wtuvfhpl 发表于 2009-8-21 00:56:56

7# Minos
我们的尾气出来的大多数是没有反应完的三氯氢硅吗？还是主要是sicl4多些？

Minos 发表于 2009-8-21 17:23:16

7# Minos
我们的尾气出来的大多数是没有反应完的三氯氢硅吗？还是主要是sicl4多些？
wtuvfhpl 发表于 2009-8-21 17:23

                              
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没反应完的三氯氢硅肯定是有的，但是四氯化硅应该更多，因为在还原炉的温度条件下是极易生成四氯化硅的，尤其在沉积的早期阶段，四氯化硅的比例很高，棒长粗后，四氯化硅的比例会逐渐下降一点

wtuvfhpl 发表于 2009-8-21 17:53:57

9# Minos
谢谢啦,再请问一句，从尾气里提出SIHCI3叫回收料，一般情况下一吨尾气能提出多少的回收料？
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