luohon08 发表于 2009-9-21 10:52:58

三氯氢硅尾气吸收用什么吸附剂好？

活性炭？硅胶？分子筛？之类的。

zhangrang 发表于 2009-9-21 16:36:27

用到氯硅烷和活性炭

liwenchao81 发表于 2009-9-22 14:09:28

可用活性炭进行吸附

yuehan 发表于 2009-9-22 18:15:10

不是活性炭，国外采用活性硅胶作为吸附剂！我会有论述的：
http://blog.sina.com.cn/polysilicontech

hrdpeter 发表于 2009-9-25 17:31:02

我们用的是活性碳。

winer.LIU 发表于 2009-9-27 10:59:38

国内设计院一般直接买的美国CDI公司的技术
用的活性炭
大多数是直接买的美国佬的活性炭
不过确实质量不错！

tcs1789@163.com 发表于 2009-10-9 10:00:55

现在国内对三氯氢硅尾气吸收大多采用是变压吸附，技术有引进的，也有国内的，其吸附剂为改性活性碳，其技术的关键在于改性活性碳的质量，与其它变压吸附技术差不多，其差别主要是改性活性碳吸附剂厂家说是有差别的。也可以考虑膜吸收。

287794392 发表于 2009-10-10 23:03:18

希望大家能提供些关于吸附器方面的知识，我是做设备的，现在做这个！

liusicai 发表于 2009-10-11 02:49:22

氯硅烷和活性炭。不过对活性炭的质量要求很高

anndy1971 发表于 2009-10-13 08:52:26

活性炭是煤质还是果壳炭?
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