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› 物理法多晶硅原料的要求
hnck
发表于 2009-7-6 10:11:54
物理法多晶硅原料的要求
请问各位坛友,物理法多晶硅用的原料金属硅的磷硼含量一般是多少,国内技术物理法多晶硅的磷硼含量大概在什麽水平
robin-Y
发表于 2009-10-22 16:26:22
肯定要达到级的,至于多少PPm就看不同公司的技术了
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物理法多晶硅原料的要求