staunchstone 发表于 2009-10-13 10:44:28

多晶硅中磷的检测——化学法

据文献报道，检测合金中的磷时，可采用高氯酸将磷氧化为磷酸盐，因此，有个想法，对于多晶硅中磷的检测，采用浓氢氟酸和浓高氯酸，挥掉硅，余下以磷酸盐形式存在的磷，然后用钼酸铵显色，再用分光光度计检测。
兴许这样能做到多晶硅中痕量磷的检测吧。
请各位达人多多提意见，不知可行与否？

staunchstone 发表于 2009-10-16 20:25:21

难道没人对此 感兴趣么？

zw1902 发表于 2009-10-16 21:36:49

倒是感兴趣哦！不过我不是做分析的，感兴趣也无从说起！呵呵！

XNHHSDGM 发表于 2009-10-17 09:40:06

想法很好，等做完对比试验后才能确定效果如何了。现在基本都是采用磷检棒，操作非常麻烦。如果能实现用化学方法那就太好了。

robin-Y 发表于 2009-10-22 12:02:05

光谱分析可以吗？？我刚刚毕业，懂的不多，多指教！

novoland1 发表于 2009-10-23 12:11:03

体系中氟的存在是不是在挥的过程中使磷损失掉？

piaowu0335 发表于 2009-10-23 14:21:30

据文献报道，检测合金中的磷时，可采用高氯酸将磷氧化为磷酸盐，因此，有个想法，对于多晶硅中磷的检测，采用浓氢氟酸和浓高氯酸，挥掉硅，余下以磷酸盐形式存在的磷，然后用钼酸铵显色，再用分光光度计检测。
兴 ...
staunchstone 发表于 2009-10-13 10:44

                              
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个人觉得不成立，我没用过这仪器，但是个人觉得首先得仪器的检测限能做到?还有试剂的纯度能做到不？检测中的干扰能消除否？

Minos 发表于 2009-10-13 10:44:00

感觉湿法检测的精度还是有限吧...如果要检测ppb级的，能行吗？还是干法会更好点吧
个人浅见，我不是做分析检测的

zhen169 发表于 2009-10-23 14:46:20

1# staunchstone
你应该注意下此方法的最低检出限啊？以我的经验，老火

woodrow 发表于 2009-10-27 00:12:16

楼主的意思是，把硅去掉，剩下的磷用钼酸铵显色，
我不是做分析的，我想知道你在用氢氟酸除硅时，会不会一样把磷也除掉？
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