海硅哥哥 发表于 2009-11-9 14:47:38

硅烷法？

国内听说有用硅烷法做多晶硅的，请问是怎么一回事？国内那家多晶硅厂家用此法，一般好像都用西门子改良法

nanjingdaxue 发表于 2009-11-9 22:02:53

这种方法目前还在实验室做的啊 ，不过国内已经开始工业化实验了啊 ，估计成熟工艺还得等3，4年吧。

novoland1 发表于 2009-11-10 11:02:26

中宁那个不是就是用的硅烷法的吗？

zhouwenya508 发表于 2009-11-10 18:57:19

中宁？国外的工艺
页: [1]
查看完整版本: 硅烷法？