多晶硅工艺【每日一题】2011.11.15
本帖最后由 yizhuxuan 于 2012-1-11 11:11 编辑今日【每日一题】关于多晶硅生产工艺:
1.在改良西门子工艺中,以下哪个设备是属于还原工序的( D)。
A.解析塔 B.合成炉 C.FBR炉 D.三氯氢硅汽化器
备注:
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