feibiao101 发表于 2009-11-16 21:41:27

还原炉的单程转化率

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请问多晶硅行业各位大侠,你们还原炉的单程转化率?具体有哪些途径可以提高还原炉的单程转化率?大家可以讨论讨论。

Minos 发表于 2009-11-17 08:50:35

世界上有两种途径,一种称为“Hemlock路径”,一种称为“Wacker路径”,前一种是尽量提高沉积速率而不注重实得率,Hemlock的实得率一般不超过10%,而后一种则是要尽量提高实得率,沉积速率可以适当下降,Wacker的实得率可以达到15%左右甚至更高,Hemlock和Wacker应该是属于两个极端了,这也是由他们工艺决定的,但是实际的效果,似乎是实得率更低的Hemlock在总成本控制上更有优势,所以单纯讲还原实得率是没有多大意义的,要综合考虑整个工艺,评估最佳点
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