cxy721225 发表于 2009-9-17 15:06:17

HCL浓度和水分对SiHCl3合成有什么影响

本帖最后由 zjiris 于 2009-9-17 19:38 编辑
HCL的浓度低了和水分高了对合成反应生成三氯氢硅有啥影响?

ily2009 发表于 2009-11-14 23:31:12

氯化氢浓度过低，造成反应出的三氯氢硅纯度低，这个是不用怀疑的，水分过高，容易造成系统堵塞，这个一直是个大问题，没有得到解决。且造成收率下降，设备喷版坏的速度很快。

wuhao3690 发表于 2009-11-17 08:13:37

会影响硅粉的转化率，同时会造成后续冷凝系统的堵塞，还会损坏设备

jiangjiagou 发表于 2009-11-18 14:32:37

HCL浓度过高，会稀释三氯氢硅的浓度，降低三氯氢硅与硅棒的碰撞几率，降低了硅的沉积速度，减少实收率，而水分过多，会使三氯氢硅水解，水解产生的酸会腐蚀设备，水解产生的硅胶会堵塞设备管道，影响生产。
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