wowLDK 发表于 2009-11-22 14:00:44

如何提高还原的转化率

各位前辈们在多晶硅的还原生产中你们的转化率能达到多少   可以总结一下这其中的影响因素吗   大家都分享分享！

Minos 发表于 2009-11-22 20:29:11

世界最高的多晶硅收率是Wacker的16%，四氯化硅的量很少，但是沉积速度慢
另外一个极端是Hemlock，高速沉积，但是收率只有8%或者更少
光讨论收率也没意义，因为提高收率虽然能降低四氯化硅的量，减轻后续操作负荷，但也往往意味着还原电耗的增加以及产能下降
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