三氯硅烷控制其实还是很复杂的，如果把水分都除干净的话，控制好温度与压力，流量等因素，反应效果是非常好的
关键是现在水分很难除好。 4楼
发表于 2009-3-28 16:53 | 只看本贴作者 查找文献说，水的存在对三氯氢硅的收率有很大影响，有利于减少四氯化硅的产生。
你的话不明啊！，，是说水存在有利于减少四氯化硅？请问文献号是 ？？？我要去看一看 影响因素个人认为有如下几点：
1，氯化氢的含水量，含水量高了不但影响收率，还会堵塞管道，腐蚀管道。
2，硅粉的粒度，硅粉粒度过大，转化率低，也不宜过细，个人认为80-180目范围的比较好
3，硅粉的含水，使用前硅粉要干燥
4，反应的温度控制，温度不能过高，否则利于四氯化硅的生成
5，催化剂的选择，貌似氯化亚铜的催化效果要好于铜粉
6，氯化氢的通入速度，速度不宜过快，否则对氯化氢是浪费
7，冷冻效果，冷冻不充分的话，收率肯定低
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