trifle 发表于 2009-9-17 09:27:22

多晶硅B、P含量检测方法及区熔炉厂家？

本帖最后由 zjiris 于 2009-9-17 10:02 编辑
最近发现，多晶硅检测时，有需要将多晶棒区熔成单晶来测电阻率和少子寿命等，现在大家测B、P含量都是用基硼基磷的国家标准的方法来做的么？还是有别的方法？区熔炉用的是哪家设备？都有哪些厂家有区熔炉（西安理工晶体科技和洛阳金诺，以及普发拓谱公司除外），大家帮忙说说这个问题啊

zxf905 发表于 2009-9-17 10:29:42


static/image/smiley/default/lol.gif
国内进口区熔炉应该是中电科技46所（天津）最好~~~

trifle 发表于 2009-10-10 14:23:24

大化工里面的多晶硅人才太少了，好多问题都很少有人参加讨论

zxf905 发表于 2009-10-10 15:32:31


static/image/smiley/default/lol.gif
德国CGS区熔炉应当是最佳的！

zhen169 发表于 2009-10-10 21:37:54

1# trifle
现在的问题应该不是炉子怎么怎么好的问题吧，关键各种检测技术之间误差导致大家的认可度，不过好像真正做这方面的人比较少，而且多晶采用此法检测的局限性强，评估是否全面有待验证，回归直接对样品的评价才是王道。

liusicai 发表于 2009-10-11 02:53:44

支持楼上的说法。

qiaoshuang888 发表于 2009-11-20 11:34:09

测量方法有待摸索，对外和对内给出的结果可能不同。谁能发一些区熔拉单晶的方法和操作步骤。
页: [1]
查看完整版本: 多晶硅B、P含量检测方法及区熔炉厂家？