ffworld 发表于 2009-10-15 20:15:25

大家说说还原尾气干法回收中存在的问题？

应该大部分都是买的CDI的技术，由成达来设计的。不过干法出的氢气的质量好像都不怎么好，具体问题在哪儿呢？

winer.LIU 发表于 2009-10-16 01:43:59

具体是指含什么过高了？

cdwenjian 发表于 2009-10-16 03:44:37

干法出来的氢气质量不要，主要还是吸附剂的问题，我们用的是活性炭，他的配制是影响吸附效果最重要的原因！我回收后进入还原工序，其中氯化氢的含量较高！又还可以返回到三氯氢硅工序！

XNHHSDGM 发表于 2009-10-16 09:41:16

没看明白，干法吸收的效果很好的，主要看设计的最大处理能力及搭配的吸附剂吸附效果了。

rammstein 发表于 2009-11-13 13:40:09

一般都是干法回收，还原炉的尾气经氯硅烷鼓泡喷淋分离出三氯氢硅和四氯化硅，分离出三氯氢硅和四氯化硅返回多晶硅生产系统，得到氢气和氯化氢的混气，再用四氯化硅吸收HCL，得到回收氢气，四氯化硅解析出HCL后，返回回收系统循环使用，HCL回到多晶硅生产系统，此时的氢气中任然有少量HCL,再用活性炭吸附器吸附，得到较纯的氢气，回还原炉生产多晶硅，少量氢气用于活性炭的在生，含有HCL的再生气体回到干法回收系统。

winer.LIU 发表于 2009-11-14 12:44:03

氯化氢含量高不能一味得认为是吸附塔得效果不理想
首先从吸附塔找原因，比如吸附时得温度控制等，吸附塔得再生是否合格等
同时也要注意从吸收塔查原因，氯硅烷对氯化氢的吸收效果如何？
请别指责CDI了，人家能做到这个份上确实已经很不错了。
看看国内得设计吧
汗！

feibiao101 发表于 2009-11-14 15:39:00

干法出来的氢气质量不要，主要还是吸附剂的问题，我们用的是活性炭，他的配制是影响吸附效果最重要的原因！我回收后进入还原工序，其中氯化氢的含量较高！又还可以返回到三氯氢硅工序！
cdwenjian 发表于 2009-10-16 03:44

                              
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你的吸收塔的温度和压力是多少？HCL含量高与吸收塔的吸收效果也有关系。还有就是你的活性炭如何控制的温度和压力？
设备是一方面，操作也跟重要。

lxx007 发表于 2009-10-16 03:44:00

我们也是干法回收，效果还不错，但是设计的尾气量太小，所以要加吸附塔！

wsyghnnyr 发表于 2009-11-14 21:32:26

现在干法回收一般都要加上吸附塔吧，不然出来的氢气的纯度不符合下一步的要求啊

tao8686886008 发表于 2009-11-28 16:46:55

只要装置应该是吸附塔，但要看你具体是什么物质超过指标啦
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