010211 发表于 2009-11-26 18:31:56

六氯化二硅用途?

有谁知道六氯化二硅的用途?

Minos 发表于 2009-11-27 00:10:18

之前看过一个俄罗斯人写的文献里提到过这东西的用途，忘记了....现在找文献也不好找了....东西太多没工夫看了

zjiris 发表于 2009-12-1 11:23:45

含氟非晶硅膜，非晶硅的原料气
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