worldlibin 发表于 2009-10-28 12:28:04

为什么还原炉压力越高越好？

还原炉压力越高，还原炉的生产周期越短？

poqwie007 发表于 2009-10-28 23:09:36

压力越高。。相对反应量要更大吧。。于是相对反应就快些了。。。

winer.LIU 发表于 2009-10-29 01:11:05

压力越大沉积速率加大！

情合赢 发表于 2009-12-1 15:13:23

压力越大，化学气相沉积速率越大，有利于硅棒生长。我觉得这个和太极有点相似，压力大，憋了压后虽然看起来慢，但是力很到位。当然压力大了，对设备材质和设计的要求就会随之增高，各方面的控制参数都会改变。所以要求全的话，还是比较难的。

伊甸园 发表于 2009-12-1 20:50:42

压力大其实不利于反应的进行，但是压力大了以后相应的TCS的浓度上升了进同样的料，浓度不一样，使得反应的正向进行，加上增压的反作用，得到的结果还是浓度增加的效果好于压力增大的负面效果，因此加快了反应速率

mgdtcc 发表于 2009-12-1 22:29:49

1# worldlibin
命题恐怕不太正确
压力并非越高越好
压力高，单炉单位时间的产量大
压力太高，多晶硅的质量会受到影响
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