poqwie007 发表于 2009-12-4 01:02:30

还原炉进气量大小都是怎样控制的

要很好的控制流量，一般都是靠什么控制的？

情合赢 发表于 2009-12-4 09:21:01

我们是用德国的气体控制台，手动阀，开关阀，压力表，流量计，调节阀，温度计，手动阀，止回阀，氢气和TCS的是一样的，两物料在静态混合器中混合，然后进入李比希管，通过喷嘴喷入炉内，还有氮气管道上也是一样的部件。流量，配比，来控制混合气。现在马上去现场，弄点图片回来大家分享啊！

kitewxg 发表于 2009-12-4 10:02:05

老兄，感觉我们的工艺和你们的很相似，想多多请教啊，ＱＱ；３９９５３９３９，一定加我啊！ 2# 情合赢

feibiao101 发表于 2009-12-4 10:29:03

一个调节阀加一个流量计就可以了吧？
搞得太复杂了，有必要吗？

情合赢 发表于 2009-12-8 08:58:25

4# feibiao101
要想控制好还原炉的硅棒的生长，那就得从多个方面入手，多重调节，配比、压力和流量是比较难控制的，确保安全和质量才是生存的根本啊！

情合赢 发表于 2009-12-8 09:00:27

3# kitewxg
好啊，一起学习，说不定很多东西还得向老兄你学习呢！共同学习···

huahuaniu 发表于 2009-12-9 21:45:54

请问，你们的流量计是质量流量计吗？我们的是转子流量计，只显示混合气体积流量。没有对氢气、三氯氢硅单独计量，仅靠挥发器来控制配比。有的炉子流量计显示流量很大，但最后结果单炉产量并不高。而且，有的炉子总是产量高，电耗地，有的则相反。是不是和还原炉有关系？
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