候鸟飞过 发表于 2008-12-17 20:51:39

能不能讨论一下“西门子改良法生产多晶硅”的控制要点！

针对西门子改良法生产多晶硅的几大工段，分别讨论讨论

候鸟飞过 发表于 2009-1-5 16:00:06

比如：还原炉对氢气和三氯氢硅有摩尔比要求，因此应采用高精度质量流量计检测，控制上采用配方控制!各位同学不吝赐教

feibiao101 发表于 2009-2-10 14:57:27

还原炉操作温度和压力

zzllssjjww 发表于 2009-2-10 17:06:36

TCS纯度尤其是P、L 氢气纯度。。。

ppqiner 发表于 2009-2-11 10:11:00

还原反应的各个时段气体流量怎么控制？应该不是一直不变的

HLJ 发表于 2009-2-11 13:39:01

关于炉内进气量的问题，存在两种不同的说法，一个是持续增加进料，直至停炉。另一种为进料量加到一数值后维持不变，直至停炉。大家说说你们的进料是如何控制流量的 共同讨论

wsyghnnyr 发表于 2009-11-28 17:11:47

西门子改良法生产多晶硅,个人感觉就是在尾气回收的控制，别的部分技术已经比较成熟了。而控制好尾气回收，也就降低了成本，这对增加市场竞争是很有利的

tao8686886008 发表于 2009-11-28 22:03:33

氯化工序，提高四氯化硅的转化率；还原，控制好进料摩尔比，炉内压力，温度。

hrdpeter 发表于 2009-12-2 11:42:13

搞尾气回收单元的。精馏塔的温度，压力。吸附塔的温度，压力和时间。

情合赢 发表于 2009-12-8 09:35:18

7# wsyghnnyr
尾气回收系统固然重要，但是要说其他都已成熟，那就有些欠妥了，就拿还原这一块来说，现在有几大重要问题需要解决：提高沉积速率和降低电耗，解决气体动力学问题和优化钟罩反应器的设计。如果解决了这些问题，那沉积出来的硅就比较犀利了。
我国的多晶硅技术亟需加强研究啊，不是一两天能弄好的。
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