SSSSS
发表于 2009-11-27 16:19:42
随着硅棒不断长粗，棒子表面积越来越大，就需要高浓度TCS，沉积就会大，主要是：沉积要量大，温度要稳定，灵活调节比。
luoyewuhui0323
发表于 2009-12-11 16:35:25
国内一般采用10：1的配比，如果用3.5：1是为了提高硅的沉积率
wtuvfhpl
发表于 2009-12-15 13:10:22
根据炉内情况，5比1到3比1左右吧。
当然氢气和三氯氢硅有各自的压力，要经过处理之后才能混在一起进入炉内。
10比1是06年的数据吧，得长多长时间才能长成棒啊，浪费。