xiaoqing86 发表于 2009-12-2 15:32:41

请教多晶硅生产还原炉里面三氯氢硅的单程转化率

本人是新手,向大家请教一下多晶硅生产还原炉里面三氯氢硅的单程转化率?谢谢

华岭 发表于 2009-12-2 22:17:40

我也想问这个问题,为什么没人回答呢?

Minos 发表于 2009-12-2 22:37:20

百分之十左右,西门子工艺没有超过20%的

kitewxg 发表于 2009-12-3 10:06:20

据说新光可以达到18%

piaowu0335 发表于 2009-12-9 15:22:58

还原尾气计算的出来的。15%左右

ranrui 发表于 2009-12-10 09:19:01

达不到很高的,平均13%...

Minos 发表于 2009-12-10 09:29:05

瓦克才16%,国内那些号称15%、18%之类的,有可信度?

付旦 发表于 2009-12-10 14:28:02

没有详细计算过,有哪家会计算准确呢

laowang1982 发表于 2009-12-10 15:13:47

10%左右,超过13就算高了

houlucky 发表于 2009-12-14 21:06:16

回复7楼,何以见得wacker是16%???
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