zhufeng2 发表于 2009-10-22 15:51:48

还原炉的处理

还原炉运行一段时间后，炉筒内的无定形硅使炉筒发黑，我们用氟化氢铵、碱液都无法除去，没办法使炉筒发亮，各位高手请指点一二。

9769782 发表于 2009-10-22 17:39:42

兄弟用抛光机抛光下就OK啦

channing619 发表于 2009-10-22 18:48:15

这种无定形硅是由于什么原因造成的呢？请各位赐教

ulsgh 发表于 2009-10-22 20:43:34

内壁面温度高了，不知道你们是多少对棒的炉子，夹套冷却水量是多少？可以将冷却水量提高一点。当然和TCS和H2的流量也有关系，但主要还是温度吧。

Minos 发表于 2009-10-23 10:57:25

不是内壁面温度高了，内壁温度肯定比气相主题温度低，低温才会沉积非晶硅，而且这个是无法避免的，只是量多量少的影响而已

ars_henry 发表于 2009-10-23 19:11:56

再回到从前肯定是不太可能了,用砂纸打磨下后用高纯水冲洗!

xiaolip 发表于 2009-10-25 09:17:03

应该是温度低造成的，无定型硅一般多沉积在炉筒内壁。在温度低于700度时，才可能形成无定型硅。

jiangjiagou 发表于 2009-10-26 11:33:46

7# xiaolip
请问温度只要高于700度就不会产生无定型硅？？

wyc6880 发表于 2009-10-26 12:22:30

温度高还是温度低？为什么现在要限定壁面温度不要过高，一是因为材料热应力会大，另外就是会沉积无定形硅。
如果炉壁温度很低，有没有无定形硅沉积在壁面？无定形硅其实就是质量很差的，未成晶体状的硅粉。
如果壁面温度在400C～500C，炉壁肯定有无定形硅沉积呀。
如果温度在700C，则沉积的是晶硅了，无非质量差一点，但绝不是无定形硅了。再说，700C，材料受得了吗？
5楼，气相温度是比壁面温度高，但是沉积硅得需要在表面沉积，不是说气相温度高，在气相里就有硅粉啊。

ulsgh 发表于 2009-10-28 16:05:51

还原炉钟罩需要经常清洗的，这样能维持还原炉的正常生产。我可以提供全套技术和设备，QQ1147560129，请留言。 1# zhufeng2
页: [1] 2
查看完整版本: 还原炉的处理