硅棒上长的黑色斑点是什么?

450064755 发表于 2009-11-10 09:07:33

硅棒生长到一定阶段出现了黑色的斑点，有时候只有很少的几点黑斑，但有时候从头到脚都有，好比撒了一把芝麻在上面一样！难道是管道上有杂质？

情合赢 发表于 2009-12-9 09:53:04

应该是氮化硅了，有两种生成的情况。
一种是过程中生成的，即启动前置换不彻底，从而炉内有浓度较高的氮气；一种是停炉后，温度还没降下来之前就进行氮气置换，也会发生反应生成氮化硅。

海硅哥哥 发表于 2009-12-9 10:33:42

楼上的朋友回答的不错啊，顶了

piaowu0335 发表于 2009-12-9 14:44:24

硅棒与硅棒的碰撞或摩擦，在接触的地方会出现黑色的，请问那是什么原因？不应该是银灰色的？

huahuaniu 发表于 2009-12-9 21:26:59

是氮化吗？我们炉子启动前，不送氮气；停炉经过几个小时的通氢气降温，炉子温度应该比导热油温度略高，也就在200来度，然后送入氮气开启炉盖，也就几分钟的时间，能迅速反应吗？请各位解疑。

sunny5257 发表于 2009-12-13 09:40:36

如果是氮化，那为什么一开始没有呢？
我觉得是不是氢气里含氧量有点高，再出现这里问题，你可以关注一下微量氧的指示，

wtuvfhpl 发表于 2009-12-17 20:36:59

2# 情合赢
不可能有N气，抽完真空进是氢气，如果有的话也会在硅芯表面成暗黄色，而不在硅棒表面上有。
停炉后硅棒温度也不会太高一般60度才开始置换，能会发生什么反应吗，本人认为不太可能。

情合赢 发表于 2009-12-18 17:04:38

7# wtuvfhpl
我觉得你表述还是不太清楚，如果是不定形硅的话，那应该在硅棒外圈的外侧，还有就是炉壁上，你说从头到脚都有，那就不是了。
有可能是管道没清洗干净，或者原料气中杂质含量较高，个人认为，不对的望谅解啊。

wangzhy 发表于 2009-12-21 00:22:55

不太可能是氮化硅……有可能是杂质

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