huahuaniu 发表于 2009-12-20 15:04:45

多晶硅中控指标和产品质量的关系

各位，影响产品质量的因素有哪些？
精馏后的三氯氢硅要求指标是多少？我们单位要求b小于0.3ppb,Fe小于10ppb，是否达到这个指标就能长出合格的多晶硅？
另外，对氢气、氮气的要求指标是多少？
还原车间的装炉、腐蚀等对质量的影响有多大？
请诸位解疑释惑。不吝赐教！

fc1976 发表于 2009-12-20 23:21:12

装置不同，工艺也总有差异。工艺指标这个DD，就算给你，也只能参考。更何况这个DD是要保密的。

aaronchen 发表于 2009-12-23 08:10:05

主要是控制P和B的含量
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