还原炉中石墨底座的问题
如题所见,石墨底座中如果含有氯离子,在硅棒初始生长阶段对硅芯有什么影响,怎么影响硅芯生长的?我认为石墨底座对硅棒的生长是没有影响的,它起的只是导电以及支撑硅棒的作用 本帖最后由 whbm 于 2011-9-28 19:20 编辑
石墨底座的氯离子在煅烧过程中应该基本挥发了应该不会影响硅芯,但是不能挥发的一些金属灰分倒是有可能影响最终产品的纯度,所以一般都要求采用经过纯化处理的高纯石墨作为底座的原料。
登录/注册后可看大图
登录/注册后可看大图 用于石墨电极底座的石墨制品是经过2500℃以上的高温石墨化处理过的,只是会有少部份的灰份存在。
页:
[1]