wangjinger 发表于 2009-12-17 15:10:21

TCS合成炉的HCL和硅粉量怎么调节才能达到最优配置？

TCS合成炉的HCL和硅粉量怎么调节才能达到最优配置？是按照比例吗？但是有时间感觉在调的过程中挺不对劲，具体什么情况也说不清楚。

ranrui 发表于 2009-12-17 17:00:06

考虑参数有点多哦，温度，压力，氯化氢流量，沸腾床层高度，沉降速度，配比...

海硅哥哥 发表于 2010-1-5 19:57:44

呵呵，这个你根据方程式看看啊，保重HCL过量就好了，另外进床的HCL压力大点比较好，产量会高些，硫化效果好
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