多晶硅工艺【每日一题】2012.1.17
本帖最后由 fuwasi 于 2012-2-3 09:34 编辑1.17每日一题:
多晶硅生产中,对于设备的清洗清洁要求严格,用数点法确认清洗率时,100cm2的被清洗表面直径为5mm-10mm的污垢残留三次取样平均应少于( 1 )个, 直径小于5mm的污垢残留应少于( 3 )个为合格。
(答案为1个、3个)
备注:
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