如何避免硅棒生长偏心现象

谁的过错 发表于 2010-1-12 12:02:01

硅棒出炉后，发现其偏心特别严重。如果硅沉积于硅芯上，硅棒生长越大，偏心也就越严重，最终往往面临停炉时倒炉的结果。请问各位大侠如何避免长粗硅棒偏心的现象？？？？？

liyanhust 发表于 2010-1-12 13:54:55

首先你要弄清楚为啥会长偏心，根据原因改工艺

laowang1982 发表于 2010-1-12 13:57:37

可能是压差太大了，LZ有几个进料孔？几对棒的还原炉？联系我，我们探讨下zhihui82@126.com

xlazxs 发表于 2010-1-12 13:58:00

检查安装，气流是否有问题。

ruoshui3000 发表于 2010-1-13 11:28:27

个人认为有以下原因：
1、炉内气流分布不均，
2、内侧的二氯二氢硅浓度较高，反应及沉积速率较快
3、内侧温度稍高。
还有其他原因吧，可以共同研究。呵呵。

liyanhust 发表于 2010-1-13 12:12:49

二氯二氢硅浓度高就长得快么，为什么

Minos 发表于 2010-1-13 13:29:55

二氯二氢硅浓度高就长得快么，为什么
liyanhust 发表于 2010-1-13 12:12

登录/注册后可看大图
DCS容易分解呀，TCS里面混了DCS沉积就快了

450064755 发表于 2010-1-13 12:12:00

应该是炉内混合气分布不均匀吧

巴适惨了 发表于 2010-1-14 20:42:47

1# 谁的过错
我认为是进气孔分布或者开度大小不均，当然内外圈的温度差也是主要原因！

liyanhust 发表于 2010-1-15 03:46:34

我觉得偏心应该是不可避免的，只要不太严重导致倒炉就可以了

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