2008nihao 发表于 2010-2-4 15:04:15

硅烷制备多晶硅

请问，有没有关于硅烷法制备多晶硅的机理资料？副反应主要有哪些？

Minos 发表于 2010-2-4 15:22:34

没有副反应，硅烷除了变成硅不会变成其它东西

2008nihao 发表于 2010-2-5 08:00:41

我了解的硅烷法制备多晶硅，先是硅烷分解成中间产物，然后由中间产物生产多晶硅。其中，中间产物直接可能会发生一些副反应。
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