ybh04 发表于 2010-2-3 02:46:05

四氯化硅处理？

是否可以采用氢气等离子体？制备三氯氢硅，进行循环？

robinluo20 发表于 2010-2-3 08:16:42

这方面的资料是有的，四氯化硅的转化率可以达到50%以上，不过还停留在实验室研究阶段，要想真正实现工业化还有很长的路要走。

Minos 发表于 2010-2-3 08:54:32

是否可以采用氢气等离子体？制备三氯氢硅，进行循环？
ybh04 发表于 2010-2-3 02:46

                              
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请问你是哪里的？
氢气等离子制三氯氢硅我们实验室已经搞了三四年了

ybh04 发表于 2010-2-3 02:46:00

3# Minos
我们主要是对氢气等离子体设备不太了解，你们实验室自己设计等离子体电源和炬？还是外面定制的？

海硅哥哥 发表于 2010-2-3 09:59:24

氢气等离子体？没见过这样的工艺？楼主能具体点不？

Minos 发表于 2010-2-3 11:00:20

本帖最后由 Minos 于 2010-2-3 13:45 编辑
3# Minos
我们主要是对氢气等离子体设备不太了解，你们实验室自己设计等离子体电源和炬？还是外面定制的？
ybh04 发表于 2010-2-3 09:59

                              
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现在全套设备都能自己设计了
设计设备的论文，做实验的论文全都写过了，SCI也发了几篇了，相关专利都已经有了

robinluo20 发表于 2010-2-3 13:35:13

现在全套设备都能自己设计了
设计设备的论文，做实验的论文全都写过了，SCI也发了几篇了，相关专利都已经有了
Minos 发表于 2010-2-3 13:35

                              
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你是川大的？！

刚会走的小孩 发表于 2010-2-3 09:59:00

能不能简单的介绍些

feibiao101 发表于 2010-2-3 17:42:36

请问你是哪里的？
氢气等离子制三氯氢硅我们实验室已经搞了三四年了
Minos 发表于 2010-2-3 08:54

                              
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等离子的工业化还需一段路吧？！

Minos 发表于 2010-2-3 13:35:00

你是川大的？！
robinluo20 发表于 2010-2-3 17:42

                              
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是呀，等离子氢化，全国能做到百千瓦以上大功率的，只有我们
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