JJ2009 发表于 2010-2-25 16:49:27

硅烷纯度分析仪器

请教各位使用什么样硅烷纯度分析仪器,有在线分析的吗?

bake8 发表于 2010-2-26 08:44:17

具体杂质具体分析,一般都用GC

JJ2009 发表于 2010-3-1 08:44:11

2# bake8
我对这方面不太了解,能说说具体的型号吗?
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