like9175 发表于 2010-3-1 20:07:56

设计的方面很多，有人说提高供气量，但是供气量大，沉积速率确实高了，那你硅棒的密度可能又不合格了。
这个要综合各方面考虑，而且每台炉子的性格都不同，只有结合生产摸索出来的数据才是最有用的，平时多注意资料的积累，做好各种控制曲线的绘制。
楼上几位给大家提供了很多正确的考虑问题的方向和思路，在此一并感谢。

天边白云 发表于 2010-3-1 20:30:04

温度怎么调整比较好呢？

like9175 发表于 2010-3-1 20:40:38

目前对炉子测温的方式基本上还是红外测量
测量范围是比较大，同时误差也很大，对炉内温度并不能准确反映。
而且炉内温度分布是不同的
对炉内温度的调整要结合测量结果的同时还要现场目测的经验判断。
一个有经验的操作工，目测就可以判断炉内生长状态。
而且在生长前后期的温度调整是不同的，更多的是生产数据的积累和经验的积累吧。

feiyun2010 发表于 2010-3-1 22:26:02

9楼：这个貌似是半年前的问题了~现在还有地方解决不了呢?
既能遇到了，为什么不解释你们的解决方法呢？说这话有点不厚道.

Minos 发表于 2010-3-2 00:42:59

9楼：这个貌似是半年前的问题了~现在还有地方解决不了呢?
既能遇到了，为什么不解释你们的解决方法呢？说这话有点不厚道.
feiyun2010 发表于 2010-3-1 22:26

                              
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改善硅棒表面形貌的方法可是核心机密，就算有也不可能随便透露啊
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