poqwie007 发表于 2010-2-28 19:44:13

大家一般都是怎样计算TCS的转化率的

有的是按照消耗的TCS和得到的多晶硅来计算，还有别的方式没？
有没有觉得很准确的计算手段？

天边白云 发表于 2010-2-28 20:52:21

可以取样，通过分析成分来计算

feiyun2010 发表于 2010-3-1 22:49:01

要算转化率应该是投入的TCS量与得到的多晶硅之间来计算，通过硅原子的平衡，可以知道有多少TCS转化成多晶硅，其他不是没有参与就是生产副产物了，不能算为TCS的转化率（一般来说）。

南希 发表于 2010-3-2 08:09:24

有在线色谱就可以。。。。。。。。。

yuehan 发表于 2010-3-2 13:37:47

转化率计算：
转化率（conversion efficiency）=100X硅芯上沉积的硅（Si deposited）/输入还原炉的硅（Si input）
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