yuehan 发表于 2010-3-9 17:03:34

41.00是进入还原炉的TCS气体，后面的则是还原炉出口可分离的尾气组成。
http://blog.sina.com.cn/polysilicontech

就是那只蟋蟀28 发表于 2010-3-10 09:10:15

谁能提供热氢化炉的计算过程？

就是那只蟋蟀28 发表于 2010-3-10 09:14:10

8# yuehan
Si:SiCL4=1:11是否偏小？不是说比值在15-20

风雨无晴 发表于 2010-3-10 09:19:38

元素守恒，质量守恒。你通入的TCS质量，H2质量（Kg/h）=硅棒质量+尾气，硅棒质量你可以算出来吧，尾气组分可以检测出百分比（体积），就可以粗算出来啦。或者你可以以一个生产周期来计算，再平均嘛
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