急求冷氢化工艺原理及流程,改进方向
我们厂要上氢化,旋学,希望知道的高手知道哈,叩谢了冷氢化原理是:
3SiCl4+Si+2H2---4SiHCl3,500度左右,几十个大气压
有些冷氢化在上述基础上做了改进,通入氯化氢,发生的反应为:
Si+3HCl------SiHcl3+H2
至于流程估计网上是找不到的,这在国内绝对是涉密的 冷氢化原理是:
3SiCl4+Si+2H2---4SiHCl3,500度左右,几十个大气压
有些冷氢化在上述基础上做了改进,通入氯化氢,发生的反应为:
Si+3HCl------SiHcl3+H2
至于流程估计网上是找不到的,这在国内绝对是涉密的
robinluo20 发表于 2010-3-6 09:59
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框图式的基本流程,REC早期的专利就公开了,去下载专利看看就行,不过也只是个最基础的玩意 硅粉下料,STC和H2加压加热达到要求后通入到流化床反应,混合气经过除尘,冷冻、粗馏,TCS送到精馏工序 流程其实就那么简单,纯化工
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