美国DEI的工艺哪位知道,据说江苏中能与Dynamic Engineering联手对前期项目做了改造,通过这项改造“江苏中能将提高三氯硅烷的纯度和除杂能力,优化现有的CVD反应器,使用DEI公司的专利DCS转化工艺,从而通过将DSC转化为TSC来减少DSC的消耗。”不知道这项改造现在进展如何? 我遇到做还原、氢化工艺的有 德国MSA,美国PPP,德国Solmic,美国GT。
尾气回收只有美国CDI;
我还遇到过美国LXE工艺。但是它具体负责那一块就不知道 我还了解一个,还原、氢化也有个别公司用GEC公司的,德国公司,也说有waker的技术。 多谢,学习了。 呵呵 德国Solmic的技术在国内使用过一家,传说产品没想想得那么多酒,改进正在继续中...时隔半年不知现在如何....
其实工艺包开发不需要什么资质得,设计及施工是需要资质的,有设计施工资质的单位能开发出自己独有的工艺那更是锦上添花 参见:http://blog.sina.com.cn/polysilicontech 四川新光硅业也做工艺包。。。。。。。。。。。
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