jarry0831 发表于 2010-3-11 11:52:27

还原反应反应物TCS和氢气提量的方法

小弟在多晶硅还原车间工作了一段时间了，但是对于还原反应提量的方法和原则还是一知半解，我知道不同生产阶段硅棒不断长大，量根据反应物配比是不断向上加的，怎么加的。希望各位大侠不吝赐教！
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