在三氯氢硅不冷凝的情况下测量出三氯氢硅和氢气的配比，一般用什么措施
用气相色谱仪检测进还原炉和还原尾气的三氯氢硅气体、氢气的比例时，用气囊取样后在常温下三氯氢硅会在气囊中液化导致三氯氢硅检测出的含量过低或者检测不出，有什么方法可以使三氯氢硅不液化呃，朋友对不起，我是个新手，不理解这里为什么要用气囊取样，用石英瓶取样不是挺好的吗，需要转化成气态的也方便，劳烦朋友指点迷津，谢谢 “用气相色谱仪检测进还原炉和还原尾气的三氯氢硅气体、氢气的比例时，用气囊取样后在常温下三氯氢硅会在气囊中液化导致三氯氢硅检测出的含量过低或者检测不出，”
楼主问题很实际，还原炉和还原尾气的三氯氢硅气体、氢气的比例，是生产的关键数据，生产大多是经验进行调节控制，用气相色谱仪检测三氯氢硅气体、氢气的比例误差很大。
个人建议，三氯氢硅气体、氢气的检测分开，用气相色谱仪检测三氯氢硅、四氯化硅，氯化氢等，氢气单独检测。
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