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JJ2009 发表于 2010-3-15 09:01:56

硅烷气体的纯度分析

想了解多晶硅工艺，请教各位，硅烷的纯度分析应该用气相色谱吧，可是现在没有完全适合的在线GC，那么，现在工业生产中用什么方法测硅烷气体的纯度呢？

wei8jun 发表于 2010-3-15 09:38:49

主要是用气相做硅烷的含量分析，至于你说的在线GC，应该是气相色谱仪厂家自带的！

piaowu0335 发表于 2010-3-15 09:41:03

应该有的，象高纯的又要气密性好的，一般会选用DID或者PDHID，国外国内都有的。

JJ2009 发表于 2010-3-15 10:02:29

2# wei8jun
那么，用一般的气相色谱行吗，有没有专门的测硅烷的气相色谱？

dingdaliang 发表于 2010-3-23 22:10:34

硅烷分析，常规的色谱就能检测，用TCD，柱子用OV-101试试，气相色谱用国产的就行

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