wqing123456 发表于 2010-3-17 10:13:22

解决三氯氢硅生产中的堵塞问题

在三氯氢硅生产中，现在最难以解决的就是高氯化物冷凝堵塞的问题，请问有什么方法可以解决吗？

feiyun2010 发表于 2010-3-17 20:01:59

请问楼主说的是合成工序吗？说清楚一点啊！

告别戈多 发表于 2010-3-18 20:42:17

楼主指的应该是传说中的“硅油”吧，它容易在还原炉的低温部位生成，确实不好处理

wqing123456 发表于 2010-3-20 17:13:14

恩，合成部分 的压力很大呀，希望大家提提意见撒

feiyun2010 发表于 2010-3-21 17:48:20

合成的三氯氢硅就有聚氯硅烷，以及一些金属氯化物和硅粉等，是比较麻烦的事，用布袋布袋过滤，并定期更换滤布。

mrzhouyi 发表于 2010-3-23 16:06:15

如果原料气中水分含量比较高的话，就更容易堵塞了。
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