pwj1985 发表于 2010-3-31 12:59:52

关于精馏过程中B P的问题

精馏过程主要是除B P,一般的印象中B式轻组分,但是有很多B是以重组分形式存在的,想问下B重组分的形式有那些,还有三氯氢硅生产时产生的B主要的存在形式是什么?

海硅哥哥 发表于 2010-3-31 19:43:58

很期待精馏的专家给予完美的答复啊
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lzf1211 发表于 2010-4-1 08:25:00

其实多晶硅中杂质的存在形式很多,不是简单的B,P氯化物,存在相当大量的络合物。B的一些络合物就会存在于重组分中。
如果B的重组分是在塔釜中存在,问题不大,因为精馏中基本上不考虑B的重组分的问题。 1# pwj1985

风雨无晴 发表于 2010-4-1 13:57:07

有此类杂质,BCL3,BH3,乙硼烧B2H6,丁硼烷B4H10,PCL3,PCL5,PH3,至于络合物P的较多,但是量会很小的
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