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› 关于硅棒横截面有裂纹和硅棒氧化层的讨论
kebao231
发表于 2010-4-4 22:07:58
关于硅棒横截面有裂纹和硅棒氧化层的讨论
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zhangweicheng
发表于 2010-4-4 22:35:21
氧化层:主要是炉内进入水汽或氧,来源有底盘或炉壁冷却水渗漏,或氢气氧含量高
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关于硅棒横截面有裂纹和硅棒氧化层的讨论