cdwenjian 发表于 2010-4-5 14:44:46

还原炉内硅棒的温度测定方法

小弟在这问问大家，你们所在的公司对于还原炉内硅棒的温度是用什么方法测定的啊！理论上都是说控制在1080——1100度，但是真正在生产的过程中，你们是怎么测定炉内的温度的啊？使用的是什么测定仪器，还是靠有经验人员的观察？
   还有，关于多晶硅帮表面产生玉米状的情况，大家有什么好的方法解决啊？

硅去来兮 发表于 2010-4-5 18:19:23

我们是用的红外测温仪和肉眼的方法，效果蛮好；防止玉米棒，要控制好摩尔比和流量，还有温度。

jarry0831 发表于 2010-4-5 18:32:27

我们公司用的是红外测温仪，但是效果不好，经常有测不准的时候，很多时候也是用肉眼凭经验看，建议用光学测温仪1

yangfanyouxia 发表于 2010-4-6 20:55:14

很经典：红外测温仪+肉眼…… 呵呵 我们貌似也是采用的这个不过具体效果如何 还不清楚，因为还没有开始使用！ 呵呵

cdwenjian 发表于 2010-4-7 17:17:34

温度测不准，就会影响硅棒表面的外观哦！
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