robinluo20 发表于 2010-4-13 17:31:06

我在资料上看到的怎么是反应SiHCl3----SiH2Cl2+SiCl4,条件是350K, 催化剂是一种聚酯(资料上没说具体名称),和你们讨论的反应正好相反!
《Handbook Of Semiconductor Silicon Technology》

Minos 发表于 2010-4-13 19:30:01

我在资料上看到的怎么是反应SiHCl3----SiH2Cl2+SiCl4,条件是350K, 催化剂是一种聚酯(资料上没说具体名称),和你们讨论的反应正好相反!
《Handbook Of Semiconductor Silicon Technology》
robinluo20 发表于 2010-4-13 17:31

                              
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那就是差不多80度了..............这个反应是可逆的...

chwell2004 发表于 2010-4-13 17:31:00

这本书得下下来学学,
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