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caipengpeng
发表于 2010-4-13 08:36:02
多晶硅一种硅烷生产工艺
本帖最后由 caipengpeng 于 2010-4-13 13:53 编辑
一种硅烷生产工艺,利用SAH和STF反应
海硅哥哥
发表于 2010-4-13 16:06:36
我怎么看不到啊,希望楼主发我邮箱里看看1861zhaojun@sina.com,先谢谢啦
caipengpeng
发表于 2010-4-14 08:29:48
在下面那个原创里面重新做了一个,你去看看呵呵。只是发了图片。别人把相关专利也贴在后面了,你可以去参考下
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多晶硅一种硅烷生产工艺