请问大家怎么分析三氯氢硅尾气中HCl含量的

luohon08 发表于 2010-4-22 15:07:46

用什么方法？平时怎么分析的，准确度怎样？谢谢

lixiaolong602 发表于 2010-4-22 15:32:44

https://bbs.hcbbs.com/thread-640966-1-1.html
来这下载一本书你就知道了

luohon08 发表于 2010-4-23 17:24:01

我是问氯化氢的含量，不是碳含量啊。比较简单的方法

鹧鸪汀 发表于 2010-4-23 20:12:40

用气相色谱分析，热导检测器。

piaowu0335 发表于 2010-4-23 20:30:45

测得准，还要取样取得准啊，测氯化氢，先考虑这个量多少，还得考虑系统或气源是否干燥，否则会腐蚀仪器的。热导池也会生锈的。还有取样的工具和取样的方法。都要慎重考虑的。

dingdaliang 发表于 2010-4-23 22:06:41

用气相色谱分析，色谱装上一个六通阀取样器，也就500多块钱一个，自己选取六通阀的定量环，那每次取的气体的体积可以确定。色谱的分析条件在论坛中可以找到

laidekeai 发表于 2010-4-26 14:53:24

5# piaowu0335
HCl怎么定量呢？

wuhao3690 发表于 2010-4-26 15:54:39

用气相色谱仪就行的

wyc6880 发表于 2010-4-29 14:31:49

用水吸收法，虽然精度不高，但是能看到一个大概趋势。

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