鹧鸪汀 发表于 2010-5-3 00:03:10

三氯氢硅、四氯化硅的充装方案

求助：三氯氢硅、四氯化硅用槽车装载的充装方案，有谢

海硅哥哥 发表于 2010-5-3 12:03:09

以前这个问题我也看过有人在提过，充装关键要注意管道的选用，氮压的控制，防止充装过快，防止泄露

nsl217 发表于 2010-5-3 13:01:09

选个磁力泵就可以了，充装时注意排压
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