16981565 发表于 2010-4-21 15:31:10

哪位大哥能告诉小弟，多晶硅还原工段-汽化器控制摩尔比的计算方法是什么啊？

哪位大哥能告诉小弟，多晶硅还原工段-汽化器控制摩尔比的计算方法是什么啊？

poqwie007 发表于 2010-4-21 19:38:19

最简便的方法，知道 三氯氢硅的 饱和蒸汽压即可。。。。
比如 三氯氢硅 在t下饱和蒸汽压为p1，而控制蒸发器的总压为p
则其中氢气的压力为p2=p-p1；
于是配比 氢气：三氯氢硅= p2：p1 =（p-p1）：p1

jesscy 发表于 2010-4-21 19:55:19

通过控制温度控制原料摩尔比

16981565 发表于 2010-4-28 17:37:58

那你知不知道 三氯氢硅 的 饱和蒸汽压时多少啊？ 2# poqwie007

xuzhengwei 发表于 2010-4-28 21:27:13

三氯氢硅 在t下饱和蒸汽压为p1，而控制蒸发器的总压为p
则其中氢气的压力为p2=p-p1；
于是配比 氢气：三氯氢硅= p2：p1 =（p-p1）：p1
1:6 38度

zhufeng2 发表于 2010-4-29 10:31:56

知道对应温度的三氯氢硅的饱和蒸汽压，用道尔顿分压定律计算

feiyun2010 发表于 2010-5-1 08:58:52

学习了，谢谢哦。

poqwie007 发表于 2010-5-3 13:44:52

4# 16981565
你在版内搜索。。我以前发过 TCS的饱和蒸汽压表
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