kuku87 发表于 2010-5-7 14:04:39

还原炉中所发生的裂解反应

4SiHCl3→Si+3SiCl4+2HCl
这个反应为什么叫裂解反应？

海硅哥哥 发表于 2010-5-8 09:25:39

楼主的方程式明显错误，应该是这样的4SiHCl3→Si+3SiCl4+2H2这确实叫热分解。。。。。。。。。就是在还原炉中主要的8大反应中，此方程式和二氯二氢硅都会发生一样的热分解，不需要H2去还原。。。。。。。。。。

kuku87 发表于 2010-5-8 12:35:59

按照兄台的意思还原炉中不加氢气也能生产多晶硅？

硅去来兮 发表于 2010-5-8 15:51:11

上面的两个化学方程式都对的，都是热分解，这只是少量的。

kuku87 发表于 2010-5-9 09:33:35

从尾气分析结果来看，裂解反应占得比例很大！ 4# 硅去来兮

zhaoxiong 发表于 2010-5-9 17:24:13

同意5楼的观点，多晶硅内的具体反应形式还需行内人员的努力研究

天边白云 发表于 2010-5-9 17:29:08

只是版主的配平不对

Minos 发表于 2010-5-9 18:38:50

按照兄台的意思还原炉中不加氢气也能生产多晶硅？
kuku87 发表于 2010-5-8 12:35

                              
登录/注册后可看大图
的确如此，实际上不用氢气
另外，为什么叫裂解反应，其实应该这样解释：这个反应实际上是复合的，并不是一步完成的，而最初的步骤是SiHCl3——SiCl2+HCl，这一步，才叫做裂解

zhangweicheng 发表于 2010-5-8 12:35:00

讨论的不错，同意楼上的说法
页: [1]
查看完整版本: 还原炉中所发生的裂解反应