关于二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅、二氯化硅、氯化氢的问题
谁有二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅、二氯化硅、氯化氢在1100摄氏度的标准自由焓和平衡常数数据啊?我想问你一下下,你需要这些数据干什么?有什么意义?
感觉你象是作多晶硅的吧?
在气相沉积室内,只有三氯氢硅呀!你需要其他的数据有什么用?
再说1100度,这些玩意的反应很复杂,平衡常数我想是很难得到的。我明天查查资料,看看
能不能帮你找到 1100度,反应很复杂,平衡常数已经不管用了,计算出的东西与实际差别很大!
我这已有先例! 楼主好漂亮
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楼主是做多晶硅吧! 好像问的是还原炉里的反应情况,1100度时在还原炉里有多种反应同时发生。
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