海硅哥哥 发表于 2010-5-8 09:04:11

热氢化氢化炉进H2纯度要求？

关于热氢化氢化炉的进料问题：请问进的STC纯度多少，H2纯度多少？可不可以有一定含量的N2进入氢化炉？要是可以，允许范围多少？。。。。。。。。。。。。。。。。。。。最近我老想比较氯氢化，冷氢化，热氢化，硅粉直接合成的成效，成本，工艺技术难度，对于整个多晶硅生产系统的贡献值等等。。。。。。。。。。希望各位朋友给予指导！

海硅哥哥 发表于 2010-5-15 19:06:40

哎，这个问题就没有坛友知道么？希望朋友给予赐教啊！

zjiris 发表于 2010-5-15 21:17:48

含氮气的要求肯定比还原低,不过因为氢气是需要回收利用的,所以也不能允许氮气含量的一直增长的.
个人认为,如果还原尾气回收氢气的含氮量超高时,可以置换去氢化系统
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